AZO 靶材（铝掺杂氧化锌靶材，ZnO:Al） 是一种高性能透明导电氧化物（TCO） 陶瓷靶材，主要通过磁控溅射工艺制备高透光、高导电的 AZO 薄膜，是传统 ITO 靶材的主流低成本替代品。

一、基本信息

• 全称：铝掺杂氧化锌靶材 (Aluminum-doped Zinc Oxide Target)

• CAS 号：37275-76-6

• 标准成分：ZnO:Al₂O₃ = 98:2 wt%（最常用），也有 97:3 等规格

• 外观：淡黄色 / 浅灰色 / 淡绿色致密陶瓷块

• 纯度：99.95% ~ 99.999%（光伏 / 显示级）

二、核心物理性能

• 理论密度：5.607 g/cm³

• 靶材致密度：≥96% ~ 99.5%（烧结后）

• 电阻率：≤5×10⁻⁴ ~ 1×10⁻³ Ω·cm

• 熔点：约 1975 ℃

• 晶粒尺寸：1 ~ 10 μm（均匀可控）

三、制备工艺（粉末冶金法）

1. 粉体合成：高纯 ZnO 粉 + Al₂O₃粉按比例混合（或共沉淀法制备前驱体）

2. 成型：冷等静压（CIP）或模压

3. 无压烧结：1300 ~ 1450 ℃ 高温保温致密化

4. 机械加工：切割、研磨、抛光

5. 绑定：与不锈钢 / 钛背板焊接（平面靶）或热喷涂在不锈钢管（旋转靶）

四、主要类型与形状

• 平面靶（方形 / 圆形）：适用于小规模、实验室、间歇式溅射

• 旋转靶（管状）：

• 利用率高（70~80%，远高于平面靶 30%）

• 可大功率连续溅射，适合光伏、玻璃等大规模量产

• 长度可达 4m 以上

五、核心优势（vs ITO 靶材）

• 成本极低：Zn/Al 为地壳丰量元素，原料成本为 ITO 的1/5~1/3

• 无毒性：不含重金属，环保安全

• 耐候性好：抗等离子体侵蚀，耐氢氟酸（HF）刻蚀

• 热稳定性强：适合高温工艺

六、主要应用领域

1. 光伏产业（最大市场）

• 异质结（HJT）、铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳能电池前电极 / TCO 层

2. 节能玻璃

• 建筑 Low-E 玻璃、汽车隔热镀膜玻璃的导电 / 隔热层

3. 显示与触控

• 触摸屏、液晶显示（LCD）、OLED 的透明电极 / 缓冲层

4. 其他

• 透明薄膜晶体管（TFT）、气敏元件、防静电涂层

七、质量关键指标

• 成分精确：Al 掺杂量严格控制（±0.5%），避免导电 / 透光失衡

• 高致密度：减少溅射 “打弧”，提升薄膜均匀性

• 低杂质：严控 Fe、Cu、Si、Na 等杂质（< 几十 ppm）

• 无内部缺陷：无裂纹、无闭口气孔、组织均匀